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PDMS芯片制作方便、成本低、生物相容性好，是前期验证金年会 金字招牌诚信至上实验的绝佳芯片解决方案.此芯片加工系统支持定制。我们提供PDMS芯片加工实验室设计与搭建的一站式服务，从洁净间设计到实验室布局，再到设备选择，以及您采购后的安装调试及培训，您只需要提出需求，我们可以做到交钥匙工程。当然，系统里的每个模块也支持单独售卖，您可以根据自己需求挑选设备。
PDMS芯片制作工艺一般包含以下步骤：① 清洗；② 匀胶；③ 曝光光刻；④ 显影；⑤ 烤胶；⑥ PDMS成型；⑦ 等离子表面活化处理；⑧ 键合；⑨ 打孔。EasyPDMS芯片加工系统可以顺利完成以上所有流程。
PDMS芯片制作
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项目
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参数
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适用芯片
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PDMS芯片制作
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最小结构分辨率
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2um
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处理基板尺寸
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4”（φ10cm）
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工艺及设备对应表格：
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工艺名称
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设备仪器名称
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型号
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清洗
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等离子清洗机
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CUTE
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超声清洗机
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市售标准型号
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匀胶
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匀胶显影机
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SC100
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PDMS成型机
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ZentriForm
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曝光光刻(2选1）
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曝光机
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UV-KUB 2
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UV-KUB 3
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显影(2选1）
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匀胶显影机
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SC100
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简易显影池
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客户自备
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烤胶
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精密热板
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HP100
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PDMS成型(2选1）
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PDMS成型机
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ZentriForm
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培养皿/热板
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客户自备培养皿/HP100
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表面活化处理
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等离子清洗机
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CUTE
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键合
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精密热板
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HP100
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打孔
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打孔器
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PDMS Port Creator
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打孔针
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市售标准型号
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