PlasmaX-Lab全能型实验等离子表面处理设备，是一款专为精密表面工程设计的高端工具。其铝质构造的450 x 300 x 300mm反应舱配备可视窗口，提供40.5升的宽敞处理空间，支持大范围的实验需求。采用独特的二级等离子设计和水冷电极，PlasmaX-Lab保证了处理过程中的极致均匀性和效率，满足了高精度表面处理的严格要求。
该设备搭载高效的螺杆真空泵和精确的薄膜规真空计，能快速达到所需的处理环境，同时保证过程中的稳定性。其PLC控制系统通过触摸屏操作，提供自动化处理流程、精确监控和参数调整能力，大大提高了操作便利性和处理的可重复性。PlasmaX-Lab还支持双气体输入，配有先进的气体流量控制器和液体输入系统，确保了处理过程的灵活性和多样性。
此外，PlasmaX-Lab强调安全性能，配备急停开关以应对紧急情况，确保使用过程中的安全。其380V AC, 50HZ, 40A的电源需求，配合0~300W可调的频射发生器，使得该设备不仅适用于多种材料处理，同时也兼顾环保和能效。
设备参数
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反应舱 |
材料：铝 有效尺寸：450 x 300 x 300mm 容积：40.5升 舱门：装有可视窗口 电极：二级等离子设计，保证单层均匀性和层间均匀性。同时包含水冷电极。 样品盘：1套，尺寸：350 x 250mm |
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真空度测量 |
薄膜规真空计，保证真空度测量精度 |
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真空泵 |
螺杆真空泵；24m3 /h |
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频射发生器 |
0~300W可调，MHz发生器 |
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控制系统 |
触摸屏操作，PLC控制系统 PLC可实现下列功能： 自动控制反应过程； 根据处理材料设定不同的处理工艺流程； 测定真空度、抽真空时间、充气流速、处理时间、温度、频射发生器输入功率等指标； 监测所有的运行指标，保证在设定范围之内； 设定操作、维护密码。 |
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电源 |
380V AC, 50HZ, 40A |
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反应气体 |
2个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）。 |
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气体输入 |
直径1/4’’ 管道；输入压力：1Bar. |
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液体输入 |
包含液态单体气化装置，可以设定液态单体流量，气化温度 |
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尾气排放 |
包含尾气输出端口 |
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安全性能 |
急停开关 |
