TF lab 系列台式单点测试设备

TF lab 系列，允许导电性薄膜和在非接触模式薄的金属层的层厚度测量的手动单点测量。紧凑的台式设备非常适合快速准确地测量最大的样品。除了测量薄导电层之外，还可以分析掺杂的晶片和导电聚合物。

优势

非接触式实时测量

精确测量导电薄膜

隐藏和封装导电层的表征

测量数据保存和导出功能

测量

薄层电阻

金属层厚度测量

单点测量

质量控制，输入和输出控制

测量范围：0.1 mOhm/sq 到 100 kOhm/sq

应用

涂层建筑玻璃，例如 LowE

显示器、触摸屏和平板显示器

OLED 和 LED 应用

智能玻璃

石墨烯层

光伏晶片和电池

半导体晶片

金属化层和晶圆金属化

除冰和加热应用

电池电极

导电涂层纸和导电纺织品

类型

薄层电阻测试仪 （Ohm/sq、OPS、Ohm per square）

金属层厚度测试仪 (nm, µm, mil)

各向异性和薄层电阻测试仪 (MD/TD)

湿涂层厚度和残留水分 – HF

电阻率和电导率测试仪 – (mOhm cm, MS/m)

测量界面

TF lab 2020 系列 非接触式单点薄层测试仪

2021年12月10日,星期五

15:02

TF lab 2020 系列，允许导电性薄膜和在非接触模式薄的金属层的层厚度测量的手动单点测量。紧凑的台式设备非常适合快速准确地测量最大的样品。除了测量薄导电层之外，还可以分析掺杂的晶片和导电聚合物。

优势

非接触式实时测量

精确测量导电薄膜

隐藏和封装导电层的表征

测量数据保存和导出功能

测量

薄层电阻

金属层厚度测量

单点测量

质量控制，输入和输出控制

样品尺寸：10 x 10 mm² 到 200 x 200 mm²（0.5 x 0.5 英寸到 8 x 8 英寸）

测量范围：0.1 mOhm/sq 到 100 kOhm/sq

应用

涂层建筑玻璃，例如 LowE

显示器、触摸屏和平板显示器

OLED 和 LED 应用

智能玻璃

石墨烯层

光伏晶片和电池

半导体晶片

金属化层和晶圆金属化

除冰和加热应用

电池电极

导电涂层纸和导电纺织品

软件和设备控制

非常人性化的软件

直观的触摸显示导航

实时测量薄层电阻和层厚

软件辅助手动映射选项

各种数据保存和导出选项

电阻测试仪参数

基材	箔、玻璃、晶片等
基板面积	8 英寸/204 毫米 x 204 毫米
最大限度。样品厚度/传感器间隙	3 / 5 / 10 / 25 毫米（由最厚的样品定义）
金属薄膜（例如铜）的厚度测量范围	2 nm – 2 mm（根据薄层电阻）
设备尺寸 (w/h/d)	11.4” x 5.5” x 17.5” / 290 毫米 x 140 毫米 x 445 毫米
重量	10公斤
更多可用功能	薄层电阻测量/金属厚度检测
	VLSR	LSR	MSR	HSR	VHSR
范围 [欧姆/平方]	0.0001 – 0.1	0.1 – 10	0.1 – 100	10 – 2000	1,000 – 200,000
精度/偏差			± 1%	± 1 – 3%	± 3 – 5%
重复性 (2σ)			< 0.3%	< 0.5%	< 0.3%

* VLSR - 极低薄层电阻，LSR - 低薄层电阻，MSR - 中等薄层电阻，HSR - 高薄层电阻，VHSR - 极高薄层电阻

升级测试

薄层电阻测试仪 （Ohm/sq、OPS、Ohm per square）

金属层厚度测试仪 (nm, µm, mil)

各向异性和薄层电阻测试仪 (MD/TD)

湿涂层厚度和残留水分 – HF

电阻率和电导率测试仪 – (mOhm cm, MS/m)

测量界面